20년 이상의 경험을 바탕으로, 당사는 반도체 장비에 적용되는 고순도 플루오로폴리머 코팅을 제공하여 우수한 내식성을 확보하고 수율을 향상시키며 생산 비용을 절감합니다.
반도체 이송 및 세정 부품은 제조 공정 전반에 걸쳐 제품 품질을 유지하는 데 매우 중요합니다. 이러한 부품은 웨이퍼 제조, 패키징, 테스트 단계에서 발생할 수 있는 입자, 산화막, 금속 오염, 유기물, 희생층, 연마 잔류물 등의 불순물을 제거하는 데 사용됩니다. 세정이 제대로 이루어지지 않을 경우, 이러한 오염물질은 수율 저하, 칩 성능 저하, 생산 비용 증가를 초래할 수 있습니다.
- 내식성
- 고순도
- 정전기 방지
- 저마찰
웨이퍼 이송 로봇
웨이퍼 이송 중 금속 이온 오염을 방지하기 위해 고청정 플루오로폴리머로 코팅 처리되었습니다. 세라믹 기판에도 코팅 적용이 가능하며, 정전기 방지(ESD) 요구를 충족하기 위한 정전기 방지 옵션도 제공합니다.
양면 정밀 연마 기계
반도체 기판, 트랜지스터, 정밀 광학 부품 등의 응용 분야에 사용됩니다. 주요 부품에는 고순도 PFA 코팅이 적용되어 우수한 내식성을 제공하고 금속 오염을 최소화합니다. 강산, 강알칼리, 유기 용제에 대한 뛰어난 내구성을 갖추고 있습니다.
쿼츠 리프팅 매니퓰레이터
불산을 포함한 화학 물질로부터 쿼츠 및 유사 기판을 보호합니다. 코팅은 우수한 소수성 및 소유성을 제공하여 세정액으로 인한 오염을 최소화합니다. -180 °C에서 260 °C까지의 온도 범위에 적합합니다.
웨이퍼 연마 장비
PFA 코팅 설치 공구
지금 문의 주시면, 귀사의 내식성 및 고순도 보호 요구에 맞춘 맞춤형 보호 기술을 함께 논의드리겠습니다.
