고순도 불소폴리머 코팅 및 라이닝 솔루션

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플루오로폴리머 코팅 및 라이닝 솔루션

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저희는 20년 이상의 고순도 불소중합체 코팅 및 라이닝 경험을 보유하고 있으며, 자체 클린룸 설비를 통해 지원합니다. 코팅 불순물 수준은 1PPb 이하, 라이닝은 5PPb 이하로 관리되어 반도체 및 정밀 제조 산업의 엄격한 순도 요구를 충족합니다.

산업

고순도 불소폴리머 코팅은 엄격한 오염 제어와 일관된 화학 성능을 요구하는 산업에 이상적입니다. 예를 들어:

반도체 처리 장비
활성 제약 성분(API) 생산

응용 분야

일반적인 응용 분야는 다양한 공정 단계에서 순도 유지와 장비의 무결성 보장을 중심으로 합니다. 예를 들어:

혼합 작업
정밀 여과
제어된 건조
이동식 화학 물질 운반 탱크
저장 용기
반도체 부품 세척 및 이송
포장 타워
수지 컬럼

고순도 불소수지 코팅

저희 고순도 코팅은 액체형과 분말형 두 가지 유형으로 제공됩니다. 액체 불소폴리머 코팅은 일반적으로 수동으로 적용되며, 분말 코팅으로 균일한 필름을 형성할 수 없는 복잡한 부분이나 홈, 날카로운 모서리와 같은 영역에 사용됩니다. 이 코팅은 두께에 대한 더 정밀한 제어가 필요하며, 표준 기계식 분사 시스템과 호환되지 않습니다.

분말 코팅은 넓은 표면에 더 효율적이며 일반적으로 정전기 분사를 통해 적용됩니다. 대량 처리에서는 더 빠르지만, 액체 코팅에 비해 필름 두께를 제어하는 것이 다소 어려울 수 있습니다.

20년 이상의 고순도 코팅 경험을 바탕으로, 저희는 ISO 9001 및 ISO 14000 인증을 받은 시설을 운영하며, 스프레이 처리용 Class 1000 청정룸을 갖추고 있습니다. 저희 코팅은 Chemours, Solvay, Daikin의 승인을 받았으며, 초저금속 이온 오염을 보장합니다. 총 금속 불순물은 1 ppb 이하로 관리할 수 있습니다.

완성된 코팅의 금속 불순물 수준 (성능 데이터) 고순도 코팅의 금속 함량 평가 (12일 동안, 단위: ppb)

	1일	일 2	일 3	일 4	일 5	일 6	일 7	일 8	일 9	일 10	일 11	일 12
Li	0	0	0.000	0.000	0.000	0.001	0.001	0.001	0.001	0.000	0.001	0.001
Na	0.0336	0.0181	0.037	0.070	0.102	0.122	0.142	0.106	0.176	0.190	0.106	0.176
Mg	0.0249	0.0281	0.002	0.005	0.002	0.004	0.005	0.001	0.001	0.002	0.001	0.001
Al	0.0304	0.0359	0.004	0.008	0.007	0.002	0.002	0.002	0.001	0.001	0.002	0.001
K	0.0071	0.0052	0.005	0.007	0.008	0.022	0.023	0.006	0.014	0.013	0.006	0.014
Ca	0.1123	0.0512	0.020	0.023	0.022	0.024	0.022	0.016	0.021	0.025	0.016	0.021
Ti	0.0019	0.0009	0.001	0.001	0.002	0.001	0.001	0.001	0.001	0.000	0.001	0.001
V	0.0006	0.0004	0.001	0.001	0.001	0.000	0.000	0.001	0.001	0.000	0.001	0.001
Cr	0.0039	0.0032	0.049	0.037	0.109	0.062	0.013	0.000	0.011	0.037	0.000	0.011
Mn	0.0159	0.0104	0.003	0.003	0.007	0.003	0.002	0.001	0.001	0.003	0.001	0.001
Fe	0.0871	0.0567	0.090	0.169	0.087	0.065	0.120	0.045	0.058	0.104	0.045	0.058
Co	0.0012	0.0006	0.001	0.001	0.001	0.001	0.001	0.001	0.001	0.000	0.001	0.001
Ni	0.0249	0.0171	0.212	0.096	0.214	0.045	0.033	0.037	0.009	0.073	0.037	0.009
Cu	0.0044	0.0026	0.021	0.025	0.030	0.020	0.018	0.055	0.055	0.037	0.055	0.055
Zn	0.1046	0.0813	0.014	0.030	0.037	0.048	0.055	0.087	0.087	0.075	0.087	0.087
As	0.0006	0.0006	0.003	0.002	0.002	0.003	0.003	0.004	0.002	0.003	0.004	0.002
Zr	0.0004	0.0002	0.001	0.000	0.000	0.000	0.000	0.000	0.000	0.000	0.000	0.000
Mo	0.0021	0.0013	0.002	0.003	0.002	0.002	0.003	0.000	0.000	0.003	0.000	0.000
Ag	0.0001	0.0003	0.000	0.000	0.000	0.000	0.000	0.000	0.001	0.000	0.000	0.001
Cd	0	0	0.005	0.004	0.003	0.009	0.006	0.000	0.000	0.000	0.000	0.000
Sn	0.0051	0.0021	0.001	0.001	0.001	0.001	0.001	0.004	0.000	0.000	0.004	0.000
Ba	0.000	0.000	0.000	0.000	0.035	0.000	0.000	0.000	0.001	0.001	0.000	0.001
Ta	0.000	0.000	0.000	0.001	0.000	0.000	0.000	0.000	0.000	0.000	0.000	0.000
W	0.0028	0.0026	0.000	0.001	0.000	0.000	0.000	0.020	0.000	0.000	0.020	0.000
Pt	0.0003	0	0.000	0.000	0.000	0.000	0.000	0.000	0.000	0.000	0.000	0.000
Au	0.000	0.000	0.000	0.000	0.000	0.001	0.000	0.000	0.000	0.000	0.000	0.000
Pb	0.0003	0.0004	0.001	0.001	0.000	0.001	0.001	0.001	0.000	0.003	0.001	0.000
Si	0.7387	0.6761	0.676	0.643	0.001	0.001	0.000	0.000	0.001	0.000	0.000	0.000

포토리소그래피 반응기

PI 반응기 (폴리이미드 합성을 위한)

웨이퍼 이송 로봇 암

양면 정밀 연마 기계

쿼츠 리프팅 매니퓰레이터

웨이퍼 세척 시스템 베이스 플레이트

고순도 불소수지 라이닝

저희 고순도 불소폴리머 라이닝 옵션은 주로 두 가지 구조로 제공됩니다: 화학 처리된 매끄러운 시트와 유리섬유 강화 복합 재료 판. 사용되는 재료는 PFA 기반 유리섬유 판, 개질된 PTFE 기반 유리섬유 판, 개질된 PTFE 매끄러운 시트, 표준 PTFE 시트, ECTFE 유리섬유 복합 재료 판을 포함합니다. 원통형 섹션에는 자동 용접 시스템을 사용하여 라이닝을 적용하며, 원형 이음새와 노즐 부위에는 수동 용접을 통해 복잡한 부위에서도 정밀도를 보장합니다.

저희는 Chemours (DuPont), Solvay, Daikin과 같은 세계적으로 인정받은 공급업체의 불소폴리머 라이닝 재료를 사용합니다. 라이닝 작업은 저희 Class 10,000 청정룸 시설에서 진행됩니다. 완성된 라이닝은 고순도 기준을 충족하며, 총 금속 불순물은 5 PPT 이하로 관리됩니다.

고순도 라이닝 코팅 금속 불순물 구성표

분석된 원소		단위	샘플 B 분석			완성된 샘플 B
			5월 25일	6월 8일	6월 16일	5월 25일	침지 전
추적 양이온 함량 (최대)	Lithium (Li) ≤	ppt	0.225	0.063	0.043	0.017	0.114
	Beryllium (Be) ≤	ppt	0.085	0.098	0.028	0.057	0.05
	Boron (B) ≤	ppt	0.899	0.773	0.018	0.616	0.155
	Sodium (Na) ≤	ppt	0.788	0.507	0.559	0.197	0.191
	Magnesium (Mg) ≤	ppt	0.105	0.582	0.555	0.501	0.085
	Aluminum (Al) ≤	ppt	0.082	0.766	0.433	0.258	0.044
	Silicon (Si) ≤	ppt	0.064	0.272	0.024	0.198	0.396
	Phosphorus (P) ≤	ppt	0.025	0.292	0.987	0.284	0.036
	Potassium (K) ≤	ppt	0.114	0.421	0.347	0.069	0.363
	Calcium (Ca) ≤	ppt	0.57	0.171	0.781	0.522	0.128
	Titanium (Ti) ≤	ppt	0.073	0.18	0.053	0.073	0.061
	Vanadium (V) ≤	ppt	0.086	0.075	0.048	0.043	0.025
	Chromium (Cr) ≤	ppt	0.066	0.764	0.172	0.472	0.04
	Manganese (Mn) ≤	ppt	0.504	0.104	0.199	0.11	0
	Iron (Fe) ≤	ppt	0.469	0.362	0.141	0.613	0.034
	Cobalt (Co) ≤	ppt	0.489	0.859	0.091	0.083	0
	Nickel (Ni) ≤	ppt	0.248	0.109	0.126	0.65	0.024
	Copper (Cu) ≤	ppt	0.227	0.11	0.188	0.688	0.104
	Zinc (Zn) ≤	ppt	0.188	0.037	0.112	0.137	0.377
	Gallium (Ga) ≤	ppt	0.035	0.018	0.037	0.029	0.04
	Germanium (Ge) ≤	ppt	0.277	0.173	0.364	0.45	0.18
	Arsenic (As) ≤	ppt	0.014	0.178	0.735	0.595	0.183
	Strontium (Sr) ≤	ppt	0.505	0.19	0.151	0.031	0.011
	Zirconium (Zr) ≤	ppt	0.065	0.033	0.066	0.045	0.029
	Niobium (Nb) ≤	ppt	0.003	0.006	0.016	0.056	0.068
	Molybdenum (Mo) ≤	ppt	0.139	0.216	0.109	0.108	0.055
	Silver (Ag) ≤	ppt	0.342	0.256	0.295	0.258	0.191
	Cadmium (Cd) ≤	ppt	0.071	0.047	0.075	0.027	0.036
	Indium (In) ≤	ppt	0.011	0.011	0.004	0.015	0.005
	Tin (Sn) ≤	ppt	0.16	0.247	0.58	0.232	0.178
	Antimony (Sb) ≤	ppt	0.358	0.215	0.396	0.307	0.007
	Barium (Ba) ≤	ppt	0.285	0.091	0.369	0.343	0.09
	Tantalum (Ta) ≤	ppt	0	0	0	0	0.023
	Platinum (Pt) ≤	ppt	0.157	0.96	0.272	0.483	0.107
	Gold (Au) ≤	ppt	0.11	0.235	0.23	0.554	0.111
	Mercury (Hg) ≤	ppt	0.159	0.207	0.158	0.16	0.222
	Thallium (Tl) ≤	ppt	0.701	0.163	0.122	0.148	0.167
	Lead (Pb) ≤	ppt	0.216	0.099	0.178	0.177	0.175
	Bismuth (Bi) ≤	ppt	0.018	0.072	0.012	0.025	0.16